法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-09-18
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C25D 11/26 授权公告日:20120222 终止日期:20120729 申请日:20100729
专利权的终止
2012-02-22
授权
授权
2011-03-23
实质审查的生效 IPC(主分类):C25D 11/26 申请日:20100729
实质审查的生效
2010-11-24
公开
公开
机译: 具有防止污染和提高膜生长速度的化学气相沉积的方法和装置
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