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用于保持可控弯液面中的液体隔离的系统、方法和装置

摘要

一种形成并使用邻近头的系统和方法。该邻近头包括头表面,该头表面包括第一区域、第二区域和内部回路区域。该第一区域包括第一平坦表面区域和多个第一分散孔。该多个第一分散孔中的每一个连接于多个第一导管中相应的一个。该多个第一分散孔位于该头表面并延伸穿过该第一平坦表面区域。该多个第一分散孔的至少一部分排列在第一排中。该第二区域包括第二平坦区域和多个第二分散孔。该多个第二分散孔中的每一个连接于多个第二导管中相应的一个。该多个第二分散孔位于该头表面并延伸穿过该第二平坦表面区域。该内部回路区域包括多个内部回路分散孔。该内部回路区域被置于该第一区域和该第二区域之间并毗邻该第一区域和该第二区域。该多个内部回路分散孔中的每一个连接于多个内部回路导管中相应的一个。该多个内部回路分散孔位于该头表面并延伸穿过该头表面。该多个内部回路分散孔中的至少一部分排列在内部回路排中。该第一排和该内部回路排大体平行。其中该多个内部回路分散孔中的每一个的边缘的第一部分凹陷入该头表面中。

著录项

  • 公开/公告号CN101711422B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2012-02-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 朗姆研究公司;

    申请/专利号CN200880021202.7

  • 申请日2008-05-13

  • 分类号

  • 代理机构上海胜康律师事务所;

  • 代理人周文强

  • 地址 美国加利福尼亚州

  • 入库时间 2022-08-23 09:09:06

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2012-02-01

    授权

    授权

  • 2010-07-21

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/302 申请日:20080513

    实质审查的生效

  • 2010-05-19

    公开

    公开

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