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布里奇曼法大单晶生产车间有毒污染空气准静态置换方法

摘要

本发明涉及一种布里奇曼法大单晶生产车间有毒污染空气准静态置换方法,属于单晶生长领域。布里奇曼法大单晶生产车间存在有毒元素污染车间空气问题,本案旨在解决该问题。本案方法其步骤包括在车间的顶部及底部分别架设多孔洞的顶板及多孔洞的地板,将顶板诸多孔洞与诸多等内径、等长度的顶板输气支管连接,将地板诸多孔洞与诸多等内径、等长度的地板输气支管连接,将诸多顶板输气支管的所有的余下的端口与通风机的出风口连接,启动通风机。通过所述步骤,建立了一种布里奇曼法单晶生产车间有毒污染空气准静态置换机制,该机制能够在车间空气温场几乎不受扰动的情形下,对车间空气进行持续更新。

著录项

  • 公开/公告号CN101799199B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2012-02-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 李榕生;

    申请/专利号CN200910141582.4

  • 发明设计人 李榕生;

    申请日2009-05-31

  • 分类号F24F7/08(20060101);F24F13/02(20060101);

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 315012 浙江省宁波市海曙区联丰路169弄39号604室

  • 入库时间 2022-08-23 09:09:06

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-08-06

    专利权的转移 IPC(主分类):F24F 7/08 变更前: 变更后: 登记生效日:20140716 申请日:20090531

    专利申请权、专利权的转移

  • 2012-02-01

    授权

    授权

  • 2011-01-19

    实质审查的生效 IPC(主分类):F24F 7/08 申请日:20090531

    实质审查的生效

  • 2010-08-11

    公开

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