公开/公告号CN101684557B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-02-22
原文格式PDF
申请/专利权人 韩国泰科诺赛美材料株式会社;
申请/专利号CN200910176954.7
申请日2009-09-25
分类号C23F1/14(20060101);C23F1/18(20060101);C23F1/30(20060101);H01L21/28(20060101);H01L21/3213(20060101);G02F1/1362(20060101);G02F1/1368(20060101);
代理机构72002 永新专利商标代理有限公司;
代理人程大军
地址 韩国京畿道
入库时间 2022-08-23 09:09:02
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-02-22
授权
授权
2010-05-12
实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/14 申请日:20090925
实质审查的生效
2010-03-31
公开
公开
机译: 液晶显示装置的铜及铜/钼或铜/钼合金电极的蚀刻组合物
机译: 液晶显示装置的铜和铜/钼或铜/钼合金电极的蚀刻成分
机译: 铜/钼双层或钼/铜/钼三层的蚀刻解决方案具有良好的蚀刻率,蚀刻量和锥角,而不会损坏玻璃基质