法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-12-04
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C09K 3/14 授权公告日:20120215 终止日期:20121014 申请日:20051014
专利权的终止
2012-02-15
授权
授权
2007-11-21
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-04-19
公开
公开
机译: 抛光组合物,使用该抛光组合物的抛光方法以及使用该抛光组合物生产抛光抛光物体的方法
机译: 抛光组合物,使用该抛光组合物的抛光方法以及使用该抛光组合物生产抛光抛光物体的方法
机译: 抛光组合物和使用该抛光组合物的硅晶片的抛光方法,以及使用该抛光组合物和硅晶片漂洗的漂洗组合物和方法