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磁性器件的制造方法和制造装置、以及磁性器件

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摘要

一种增大单方向各向异性常数(J

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2012-02-29

授权

授权
2010-05-12

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 43/12 申请日:20080528

实质审查的生效
2010-04-28

文件的公告送达 IPC(主分类):H01L 43/12 收件人:段迎春文件名称:国际申请进入中国国家阶段初步审查合格通知书申请日:20080528

文件的公告送达
2010-03-31

公开

公开

1. 磁性器件的制造方法和制造装置、以及磁性器件 [P] . 中国专利： CN101689601B . 2012.02.29
2. 制造磁性隧道结器件的方法及用于制造磁性隧道结器件的设备 [P] . 中国专利： CN101960629B . 2013.12.18
3. Method of manufacturing a magnetic device, and magnetic device manufacturing apparatus [P] . 日本专利： JP4869987B2 . 2012-02-08

机译：磁性器件的制造方法和磁性器件制造装置
4. Device manufacturing apparatus and manufacturing method of magnetic device using structure to pass ion beam [P] . 美国专利： US9799482B2 . 2017-10-24

机译：使用结构使离子束通过的磁性器件的器件制造装置和制造方法
5. Magnetic thin film and method of forming the same, magnetic device and inductor, and method of manufacturing magnetic device [P] . 美国专利： US7588840B2 . 2009-09-15

机译：磁性薄膜及其形成方法，磁性器件和电感器以及制造磁性器件的方法