超高纯氨制备系统、高精密电子元件制造系统及其生产线上工作站供应高纯氨试剂的方法

摘要

提出高精密电子元件制造过程中所用高纯氨的现场制备系统及方法，包括：从液体氨储存容器采出氨蒸汽，再使氨蒸汽通过可滤除小到0.005微米颗粒的过滤器，随后于高-pH含水液—蒸汽接触单元内洗涤经过滤的蒸汽。