一种面阵CCD靶面与安装定位面平行度的光学检测方法

摘要

一种面阵CCD靶面与安装定位面平行度的光学检测方法，涉及CCD靶面与机械安装面平行的光学检测方法，它解决了现有CCD机械安装定位面和CCD靶面的平行度差，且很难实现光学系统的焦深要求，进而影响了CCD成像质量的问题，本发明通过把矩形CCD靶面任意一个直角顶点设定为直角坐标系的原点，相应的两个直角边分别为X轴和Y轴。用工具显微镜分别读取CCD靶面的四个顶点与相应的机械安装面之间距离的数值，将测得的四个数值中的三个与原点数值相互作差Δh，再分别除以X，Y方向边长及对角线方向距离l，就可分别得出CCD靶面与安装定位面两平面在X，Y及对角线方向上的夹角。本发明原理简单，精度高，易于实现。