用于生物化学分析的液滴操纵装置,制造所述装置的方法与微流体分析系统

摘要

本发明首要目的在于提供一种利用电浸润在移动平面上操纵液滴的装置，其包括至少一个移动轨道。所述移动轨道包括电绝缘基片，两个或多个交叉指型导电电极位于所述基片表面。所述电极覆盖有一电介质绝缘层，所述电介质绝缘层本身被局部浸润层覆盖。本发明还涉及上述装置的生产方法，其中，局部浸润层的形成包括通过在基片上淀积光敏材料、光刻步骤和光敏材料的显影而形成光敏材料的掩模，在掩模上淀积非浸润材料，至少一次溶解退火，溶解掩模，以及至少一次溶解后退火。本发明最后涉及对液体样本的微流体分析系统，其包括至少一液体样本准备装置，其被耦合到至少一个根据本发明的液滴操纵装置，所述液滴操纵装置本身则被耦合道至少一样本分析装置。