利用电子散斑相移技术测量物体三维面形的方法及其系统

摘要

本发明涉及一种利用电子散斑相移技术测量物体三维面形的方法，1)将被测物体固定在一参考平面上，参考平面与一相移器连接，参考平面能够在竖直平面内做转动；2)将被测物体连同参考平面一起做小于5度角的微小偏转，利用光的干涉，在被测物体表面产生明暗相间的干涉条纹；3)通过相移器对被测物体表面施加相移使参考光和物光的光程差发生改变，对步骤2)得到的弯曲的干涉条纹做等四步相移，这些明暗相间的干涉条纹会根据所加相移的大小做相应的平移，用四步相位算法得到包裹相位图，由于相位被包裹在(-π，π)之间，用相位展开算法把相位连续化求出被测物体的真实相位；根据相位和高度的映射关系得出物面的高度分布，得到物体的面形。本发明同时还公开了此方法的系统。