一种基于静态膨胀法真空标准的极小气体流量测量装置

摘要

本发明涉及一种基于静态膨胀法真空标准的极小气体流量测量装置，包括前级压力测量系统、阀门一、气体压力衰减系统、阀门二、校准室、阀门三、小孔、阀门四、阀门五、吸气剂泵、阀门六、分子泵、前级泵及电离规组成，前级压力测量系统通过阀门一与气体压力衰减系统连接，气体压力衰减系统通过阀门二与校准室连接，小孔与阀门四并联后一端通过阀门三和校准室相连，一端和真空系统相连，吸气剂泵通过阀门五和校准室相连，前级泵和分子泵串连后通过阀门六和校准室连接，电离规直接连接在校准室上。本发明用静态膨胀法真空标准产生的气体压力代替固定流导法气体流量计的充入气体压力，从而进一步提高气体流量的测量精度。