非封闭式高速气流吸附传输装置

摘要

一种用于拾取成组薄片工件的非封闭式高速气流吸附传输装置，解决了现有技术存在的效率低，无法拾取成组薄片工件等问题，它包括气路控制单元、吸盘和移动控制单元，其技术要点是：由气针和吸盘体组成的吸盘密封组装在吸盘基座上，并与移动控制单元固定在一起，使吸盘基座的气室分别与气路控制单元的压缩气体腔及气针的气体入口连通，气流经气室及气体入口快速通过气针内腔形成高速气流，沿吸盘体表面的开式导流槽内保持高流速通过产生压差吸附薄片工件。其结构设计紧凑，气路分布合理，适用范围广，其采用单片独立、开放式的气路，单个薄片工件的吸附失效，不影响成组薄片工件的拾取及传输，显著提高产成品率和传输的安全可靠性及生产效率。