支持机构及使用支持机构的掩模载台

摘要

一种支持机构，通过多个支持体支持掩模等平板时，可以补偿自重变形，并在保持平面的状态下对平板进行支持。在载台基座(11)上设置合计4个以上的高度不变的固定式支持体(1)、及高度可变的变位式支持体(2)。固定式支持体(1)具有通过旋转轴承安装在台座上的真空吸附部。变位式支持体(2)具有：使轴上下运动的气缸；通过旋转轴承安装在轴顶端的真空吸附部；限制轴的动作并固定高度的单元。由固定式支持体(1)的真空吸附部从背面保持掩模(20)，并在3点支持掩模(20)，并且对变位式支持体(2)的气缸只施加抵消掩模(20)自重变形的推力，并将掩模(20)顶起固定在所述位置，并由真空吸附部从背面保持掩模(20)。