公开/公告号CN101465311B
专利类型发明专利
公开/公告日2011-12-07
原文格式PDF
申请/专利权人 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司;
申请/专利号CN200710179912.X
发明设计人 李永军;
申请日2007-12-19
分类号H01L21/68(20060101);H01L21/66(20060101);
代理机构11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司;
代理人张天舒;陈源
地址 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5楼南二层
入库时间 2022-08-23 09:08:29
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-03
专利权的转移 IPC(主分类):H01L21/68 登记生效日:20200612 变更前: 变更后: 申请日:20071219
专利申请权、专利权的转移
2020-05-15
专利权的转移 IPC(主分类):H01L21/68 登记生效日:20200424 变更前: 变更后: 申请日:20071219
专利申请权、专利权的转移
2020-05-15
专利权的转移 IPC(主分类):H01L21/68 登记生效日:20200424 变更前: 变更后: 申请日:20071219
专利申请权、专利权的转移
2018-07-31
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L21/68 变更前: 变更后: 申请日:20071219
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2018-07-31
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L21/68 变更前: 变更后: 申请日:20071219
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2018-07-31
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/68 变更前: 变更后: 申请日:20071219
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2017-03-29
专利权的转移 IPC(主分类):H01L21/68 登记生效日:20170309 变更前: 变更后: 申请日:20071219
专利申请权、专利权的转移
2017-03-29
专利权的转移 IPC(主分类):H01L21/68 登记生效日:20170309 变更前: 变更后: 申请日:20071219
专利申请权、专利权的转移
2017-03-29
专利权的转移 IPC(主分类):H01L21/68 登记生效日:20170309 变更前: 变更后: 申请日:20071219
专利申请权、专利权的转移
2017-03-29
专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/68 登记生效日:20170309 变更前: 变更后: 申请日:20071219
专利申请权、专利权的转移
2011-12-07
授权
授权
2011-12-07
授权
授权
2011-12-07
授权
授权
2011-12-07
授权
授权
2009-08-19
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-08-19
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-08-19
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-08-19
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-06-24
公开
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2009-06-24
公开
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2009-06-24
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2009-06-24
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