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用于凹球面器件旋涂光刻胶的辅助装置

摘要

本发明涉及对光学器件进行旋涂光刻胶时的辅助卡具,特别是一种用于凹球面器件旋涂光刻胶的辅助装置,由可穿置连接在涂胶机旋转轴上的具有竖直周缘壁的底盘和旋扣式连接在底盘周缘壁上的盖板构成,在所述底盘周缘壁的下部设有至少3个均布的台肩;所述的盖板顶部中心设有一垂向通孔,在该通孔中通过弹簧设置一可使之上下滑动的滑动轴,该滑动轴的下端固设一弧形压板。本发明辅助装置为实现凹球面器件旋涂光刻胶提供了可行的工艺装备,其操作便捷、安全可靠。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-08-27

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/16 授权公告日:20111130 终止日期:20130708 申请日:20080708

    专利权的终止

  • 2011-11-30

    授权

    授权

  • 2009-01-21

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2008-11-26

    公开

    公开

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