一种自旋电流驱动的新型微波振荡器

摘要

一种自旋极化电流驱动的微波振荡器件结构和制备方法，属于自旋输运器件技术领域。其特征在于，采用氧化硅衬底，通过超高真空磁控溅射制备的一种“固定层(铁磁)/隔离层(非磁)/自由层(铁磁)”的多层膜结构，再通过电子束曝光、Ar离子束刻蚀、正胶剥离等微电子工艺将多层膜结构加工为横向尺寸在100±50纳米的柱状结构。分别在多层膜的顶层和底层膜面制作出上下电极，使注入电流方向垂直于金属多层膜平面。本发明的优点在于固定层和自由层的初始磁化方向都位于膜平面内，且相互垂直，可以使自由层获得最大的横向自旋注入，从而产生大幅度的自旋进动，有利于获得大的微波功率输出，并且不需要外加磁场。