一种多晶硅生产中还原尾气热能回收利用的方法和装置

摘要

本发明公开了一种多晶硅生产中还原尾气热能回收利用的方法和装置，包括还原尾气与氯硅烷在塔底再沸器中的一次换热，换热后氯硅烷部分汽化，并输送到氯硅烷提纯塔中，作为氯硅烷提纯塔的热源，换热后的还原尾气输送到冷凝器中，将还原尾气中的氯硅烷冷凝为液体，并输送到氯硅烷提纯塔中。多晶硅生产中还原尾气热能回收利用的装置，包括依次相连接的以下设备：塔顶冷凝器、提纯塔、塔底再沸器、尾气冷凝器、氯硅烷缓冲罐和氯硅烷输送泵，氯硅烷输送泵出口与提纯塔相连。通过本发明的技术改造可使还原精馏系统降低40%的蒸汽消耗量，同时可使CDI系统冷冻机负荷降低7%，循环水用量减低约52.44%，起到了很好的节能降耗的目的。