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一种用于双偶极均匀照明的自由曲面透镜

摘要

本发明公开了一种用于双偶极均匀照明的自由曲面透镜。它包括前表面平面、后表面自由曲面和侧面圆柱面,前表面平面与后表面自由曲面通过侧面圆柱面相连接,前表面平面垂直于激光光束传播方向,后表面自由曲面用于偏折激光光束;后表面自由曲面包括第一自由曲面、第二自由曲面、第三自由曲面、第四自由曲面和圆柱面,第一自由曲面、第二自由曲面、第三自由曲面与第四自由曲面通过圆柱面相连接,激光光束经第一自由曲面和第二自由曲面偏折,在目标面上的照明区域对应双偶极均匀照明中的内环,激光光束经第三自由曲面和第四自由曲面偏折,在目标面上的照明区域对应双偶极均匀照明中的外环;本发明结构紧凑、简单;整形效果好,能量利用率高。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-09-17

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 授权公告日:20111102 终止日期:20130727 申请日:20100727

    专利权的终止

  • 2011-11-02

    授权

    授权

  • 2011-02-02

    实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20100727

    实质审查的生效

  • 2010-12-15

    公开

    公开

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