法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-01-08
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G05D 11/02 授权公告日:20111116 终止日期:20121117 申请日:20101117
专利权的终止
2011-11-16
授权
授权
2011-03-30
实质审查的生效 IPC(主分类):G05D 11/02 申请日:20101117
实质审查的生效
2011-02-16
公开
公开
机译: 用于燃气轮机中动态压力测量的压力表测试装置,其传感器室布置在阀盘侧面,压力传感器安装在室中,来自压缩空气源的空气通过孔进入传感器
机译: 在真空镀膜腔室中用硅和/或锗的掺杂层动态镀膜衬底,包括通过传输系统将衬底转移到腔室中,并在蒸镀源上通过镀膜材料进行传输
机译: 动态(拥有衬底的处理室)等离子源使多个壁排成一条线