一种准分子激光微细加工用的像方远心直写投影成像物镜

摘要

本发明是一种准分子激光微细加工用的像方远心直写投影成像物镜，属于激光微细加工及其应用技术领域。物方视场与像方视场成缩小比例。物方视场范围内，除轴上主光线外，所有主光线以一定角度入射投影物面；像方视场范围内，所有主光线垂直入射成像像面。结构形式分为两部分：第一部分由一片熔石英透镜构成，该透镜采用双凸的透镜结构形式。第二部分由四片熔石英透镜构成，第一片采用双凸的透镜结构形式，第二片采用左凹右凸的透镜结构形式，第三片采用双凸的透镜结构形式，第四片采用左凸右凹透镜结构形式。本发明有效改善了准分子激光微细加工用常规直写投影成像物镜所造成的被加工工件加工下表面图形相对于加工上表面图形向光轴外侧偏离的情况。