在计量型原子力显微镜上增加力曲线功能模块的方法

摘要

一种在计量型原子力显微镜上增加力曲线功能模块的方法，操作计量型原子力显微镜进入正常扫描模式，设置扫描范围为零并关闭PI反馈；检测出控制压电陶瓷Z向位移的控制线，将该控制线连接到双选开关上；利用第2步骤的双选开关切断原子力显微镜内部对压电陶瓷Z向位置的控制，使压电陶瓷Z向控制线与外部信号发生器相连接；调节信号发生器输出波形与电压，将输出信号连接在压电陶瓷放大器上，使该信号所控制的压电陶瓷Z向位置在可用范围内；在控制压电陶瓷Z向位移控制线与双选开关连接的切换端口处连接缓冲电路；存储压电陶瓷位置数据及对应的压电陶瓷端部的微探针针尖偏转数据，绘制力曲线图。本发明降低了制样要求，增加了力曲线图形的可靠性和准确性。