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采用电弧离子镀技术在聚四氟乙烯表面镀导电薄膜的方法

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摘要

本发明涉及采用电弧离子镀技术在聚四氟乙烯表面镀导电薄膜的方法，属于表面工程技术领域。利用电弧离子镀技术，依次采用加热工件、离子束清洗和镀过渡层的方法，在聚四氟乙烯表面镀导电薄膜，将聚四氟乙烯工件放入到真空室内，加热；导入Ar和O

1. 采用电弧离子镀技术在聚四氟乙烯表面镀导电薄膜的方法 [P] . 中国专利： CN101962748B . 2011.09.28
2. 电弧离子镀沉积氮化钛铌硬质薄膜技术 [P] . 中国专利： CN1321791A . 2001-11-14
3. METHOD FOR FORMING A PHOTOCATALYST COATING LAYER ON THE SURFACE OF A METAL FILTER THROUGH AN ARC ION PLATING METHOD [P] . 韩国专利： KR20100118910A . 2010-11-08

机译：通过电弧离子镀法在金属过滤器表面上形成光催化剂涂层的方法
4. Method for electroless and vapor deposition of thin films of three tin sulfide phases on conductive and nonconductive substrates [P] . 美国专利： US4681777A . 1987-07-21

机译：在导电和非导电衬底上化学镀和气相沉积三硫化锡相薄膜的方法
5. METHODS OF FABRICATING A SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT WITH THIN FILM TRANSISTORS USING A SELECTIVE EPITAXIAL GROWTH TECHNIQUE AND A PARTIAL PLANARIZATION TECHNIQUE AND SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUITS FABRICATED THEREBY [P] . 韩国专利： KR20050086350A . 2005-08-30

机译：使用选择性表皮生长技术和局部平面化技术及半导电集成电路制造具有薄膜晶体管的半导电集成电路的方法