基于常规激光诱导材料变化的激光加工方法和加工装置

摘要

本发明涉及一种显著地提高具有很高加工精度的常规超快激光微加工工艺的加工速度的技术。根据本发明，一种基于激光诱导材料瞬态变化的激光加工方法使超快激光的脉冲和至少一个与所述超快激光不同的辅助激光的脉冲耦合，以可逆地改变待加工材料。