基板处理系统的处理方案最佳化方法

摘要

本发明提供一种基板处理系统的处理方案最佳化方法，该基板处理系统通过网络连接有根据处理方案执行被处理基板的成膜处理的基板处理装置、进行处理方案最佳化计算的数据处理装置和主计算机。本发明包括：测量由基板处理装置进行成膜处理的被处理基板的膜厚的工序；当测量的膜厚与目标膜厚有偏差且此偏差超过允许范围时，从主计算机向基板处理装置发送处理方案最佳化处理执行指令的工序；根据来自主计算机的处理方案最佳化处理执行指令，从基板处理装置向数据处理装置发送必要的数据，在该数据处理装置中，为了以获得目标膜厚的方式计算出最佳处理方案而执行处理方案最佳化计算，并根据该结果更新基板处理装置中的处理方案的工序。