公开/公告号CN1029801C
专利类型发明授权
公开/公告日1995-09-20
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海光学精密机械研究所;
申请/专利号CN91107489.9
申请日1991-09-12
分类号G02B13/08;
代理机构中国科学院上海专利事务所;
代理人李兰英
地址 201800 上海市800-211邮政信箱
入库时间 2022-08-23 08:54:32
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
1997-10-29
专利权的终止未缴年费专利权终止
专利权的终止未缴年费专利权终止
1995-09-20
授权
授权
1993-04-21
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
1993-03-31
公开
公开
机译: 2透镜光学系统扫描型像差校正后的离子束装置,3透镜光学系统扫描型像差校正后的离子束装置和2透镜光学系统投影型像差校正后的离子束照相系统,3透镜装置类型像差校正的离子光刻设备
机译: 校正光学系统像差的方法和投影由像差校正光学系统提供的曝光设备
机译: 热像差校正方法,同时校正热像差和色像差的方法以及红外光学系统