一种全解耦电容式微机械陀螺

摘要

本发明涉及一种全解耦电容式微机械陀螺，属于微机电系统中的惯性传感器技术领域。其中，立柱固定在基片上，驱动弹性梁和检测弹性梁围成方框，且分别通过立柱与基片相对固定。横向隔离梁和纵向隔离梁围成的方框位于上述方框中。检测质量块位于由横向隔离梁和纵向隔离梁围成的方框中，其四角分别与之相连。检测电容可动电极和驱动电容可动电极分别与检测弹性梁和驱动弹性梁相连。检测电容固定电极和驱动电容固定电极分别固定在基片上，且分别与检测电容可动电极和驱动电容可动电极的位置相对。本发明从结构设计上消除了机械耦合带来的测量干扰，提高了微机械陀螺的灵敏度，且不增加生产的工艺难度和加工成本，易于批量生产。