首页> 中国专利> 借助低温液面下强制水蒸汽蒸馏法分离可溶可熔酚醛树脂

借助低温液面下强制水蒸汽蒸馏法分离可溶可熔酚醛树脂

摘要

水不溶性、含水碱溶性可溶可熔酚醛树脂,该树脂的制备方法,含有该树脂的光刻胶以及制备半导体装置的方法,其中该树脂通过液面下强制水蒸汽蒸馏法得到分离。

著录项

  • 公开/公告号CN1085681C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2002-05-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 科莱恩金融(BVI)有限公司;

    申请/专利号CN95197186.7

  • 发明设计人 M·D·拉曼;D·P·奥宾;

    申请日1995-12-21

  • 分类号C08G8/08;G03F7/023;

  • 代理机构11038 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;

  • 代理人王杰

  • 地址 英属维尔京群岛

  • 入库时间 2022-08-23 08:55:39

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2007-02-21

    专利权的终止未缴年费专利权终止

    专利权的终止未缴年费专利权终止

  • 2007-02-21

    专利权的终止未缴年费专利权终止

    专利权的终止未缴年费专利权终止

  • 2005-06-22

    专利申请权、专利权的转移专利权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20050520 申请日:19951221

    专利申请权、专利权的转移专利权的转移

  • 2005-06-22

    专利申请权、专利权的转移专利权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20050520 申请日:19951221

    专利申请权、专利权的转移专利权的转移

  • 2005-06-22

    专利申请权、专利权的转移专利权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20050520 申请日:19951221

    专利申请权、专利权的转移专利权的转移

  • 2002-05-29

    授权

    授权

  • 2002-05-29

    授权

    授权

  • 1998-04-01

    实质审查请求的生效

    实质审查请求的生效

  • 1998-04-01

    实质审查请求的生效

    实质审查请求的生效

  • 1998-01-28

    公开

    公开

  • 1998-01-28

    公开

    公开

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