低温冷阱和具有该低温冷阱的真空处理设备

摘要

一种低温冷阱，其被设置在真空容器中，并且具有通过冷却冷凝和排出气体的排气板和连接到致冷器并由此被冷却的冷却台，还包括固定在冷却台上同时保持与其热接触的冷却储存体和热连接/断开冷却储存体和排气板的机构。执行热连接/断开的机构具有可移动单元，所述可移动单元具有良好的导热率并且可以与排气板和冷却储存体接触和分离。