一种可见光活性的碳掺杂纳米二氧化钛薄膜的制备方法

摘要

本发明属于纳米二氧化钛光催化与光电化学技术领域，具体为一种可见光活性的碳掺杂二氧化钛薄膜的制备方法。该方法采用反应磁控溅射镀膜系统，其步骤包括制备碳钛镶嵌靶；将工作室抽至10^-3Pa以下的真空，再依次通过适当比例的氧气和氩气，控制溅射电流为0.5～1A，溅射时间为0.5～3小时，即制得碳掺杂二氧化钛薄膜。本发明制备方法简单，制得薄膜具有可见光活性，可应用于太阳能光电转换和光催化分解水等方面。