产生极端紫外辐射或软X射线辐射的方法及装置

摘要

本发明揭示一种用来产生极端紫外(EUV)或软X射线辐射的装置，其包括：一激光源(12)，其用来产生一激光辐射(11)，所述激光辐射(11)以超过10⁶W/cm²的强度聚焦于一靶上以形成一等离子体；及若干电极，其安装于一电绝缘块状物(6)上并围绕由激光源(12)所产生等离子体的路径布置。所述电极与一用于在等离子体中形成快速放电的装置相结合，所述放电具有一特征时间常数，所述特征时间常数小于所述激光所产生等离子体的膨胀时间的时间常数。