用于制造光盘母盘的方法和装置,用于制造光盘的方法

摘要

一种制造光盘母盘的方法，包括步骤：通过将激光施加到具有无机抗蚀剂层的光盘母盘形成基片，测量多个半径位置中的每一个半径位置处的激光的反射率，该激光具有小于无机抗蚀剂层的记录灵敏度的非记录激光功率，通过使用在多个半径位置测量的反射率，生成根据光盘母盘形成基片的半径位置指示记录激光功率的记录功率控制数据，通过基于记录功率控制数据将激光施加到光盘母盘形成基片，同时根据半径位置改变记录功率，在无机抗蚀剂层上形成曝光图案，以及显影具有曝光图案的无机抗蚀剂层，从而制备不平图案。