一种精三氯氢硅的生产方法

摘要

本发明涉及一种精三氯氢硅的生产方法，包括(1)在工业级三氯氢硅精馏工段增加预塔装置；(2)在预塔前增加加热器对加料进行预热；(3)预塔、三氯氢硅塔、四氯化硅塔内部采用填料和塔板复合的形式；(4)四氯化硅可来自四氯化硅塔下部的气相侧采；(5)三氯氢硅塔和四氯化硅塔可集成为一个塔或者采用双效精馏方法；(6)在冷却工段中除尘器之后冷凝器前增加洗涤塔装置；(7)对于洗涤塔采用底温余热驱动溴化锂机组产生冷水供冷却使用；(8)对合成热进行热集成和节能利用；(9)在三氯氢硅进行超纯精馏和精制过程中采用3～8个精馏塔和吸附塔或者络合精馏塔装置。本发明有投资低、能耗低且目标产物三氯氢硅的分离纯度高等优点。