微机电系统的跨时间尺度仿真方法

摘要

本发明公开了一种微机电系统的跨时间尺度仿真方法，属于微机电系统建模与仿真领域。该方法将微机电系统系统级模型中的组件分为高频组和低频组，在第一次仿真中将低频组作为仿真对象，用较大步长进行时域仿真，在第二次仿真中将低频组仿真结果与高频组组件作为仿真对象，用较小步长进行时域仿真，当需要用到低频组中组件的信号值时，对第一次仿真得到的仿真结果进行插值。使用该方法仿真时，低频组仿真时不考虑高频组的影响进行单独仿真，仿真规模减小；此外，对高频组进行仿真时只利用低频组仿真的结果，不耗费资源求解低频组中组件的模型，仿真规模减小，从而解决了现有技术中由时间尺度的差异带来的低效问题。