弧形MEMS柔顺双稳态机构

摘要

一种微机电系统技术领域的弧形MEMS柔顺双稳态机构，包括：弧型梁、柔性弹簧、集中质量块和基座，其中：集中质量块固定设置于弧型梁的正中心，弧型梁的两端分别与两个相同结构的柔性弹簧的一端相连，两个柔性弹簧的另一端分别与两个相同结构的基座相连。本发明结构简单，制作方便，易于实现且成本较低，只需要两个掩膜版即可完成整个微驱动器件的制作。同时，结构整体尺寸小，有利于MEMS器件的集成化、批量化。同时具有柔顺机构无摩擦无间隙的特点和双稳态机构定位精度高的特性，因此具有较好的稳定性，更适合新型低功耗MEMS器件。