用于控制研磨修整盘对抛光垫表面的作用的末端执行臂

摘要

一种化学机械平坦化修整设备的增强式末端执行臂，用于改善设备的可靠性和修整及抛光操作的质量，其包括修整器头，该修整器头具有可提供研磨修整盘和所述末端执行臂之间的简化对准/连接的部件，同时还提供用于维护操作的“快速释放”机构。这个增强式末端执行臂还包括改进的致动器机构，该致动器机构提供所述末端执行臂的无静态阻力的运动以及对所述研磨修整盘施加至所述抛光垫的下压力的更佳控制。在所述增强式末端执行臂中使用一种双驱动滑轮系统以最小化当所述末端执行臂枢轴旋转以跟随“老化”的抛光垫的轮廓时所述末端执行臂内的驱动带的倾斜。