法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-08-20
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/455 授权公告日:20110504 终止日期:20180904 申请日:20080904
专利权的终止
2012-02-15
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C16/455 变更前: 变更后: 申请日:20080904
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2012-02-15
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 16/455 变更前: 变更后: 申请日:20080904
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2011-05-04
授权
授权
2011-05-04
授权
授权
2009-05-06
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-05-06
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-03-11
公开
公开
2009-03-11
公开
公开
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机译: 用于阻止处理腔室外部的空气与处理腔室内部的处理气体之间的连通的设备,使用该设备处理基板的方法以及使用该基板制造太阳能电池的方法
机译: 一种用于检测半导体处理腔室内气体中的气态分子种类的方法,因此配备了半导体处理系统
机译: 一种用于检测半导体处理腔室内气体中的气态分子种类的方法,因此配备了半导体处理系统