法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-04-30
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23F 11/00 授权公告日:20110413 终止日期:20130302 申请日:20070302
专利权的终止
2011-04-13
授权
授权
2009-04-29
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-09-05
公开
公开
机译: 图案形成方法,使用该表面处理剂的表面处理剂,电子设备的制造方法以及电子设备
机译: 图案形成方法,使用该表面处理剂的表面处理剂,电子设备的制造方法以及电子设备
机译: 用于图案形成的表面处理剂以及使用该表面处理剂的图案形成方法