气脚支撑工作台的设计方法

摘要

一种气脚支撑工作台的设计方法，包括步骤：A1、确定有限元模型：根据工作台建立相应实心长方体的几何形态形成有限元模型；A2、确定气脚位置：通过改变气脚与对称中心的距离采样一组有限元模型，获取更优化的模型至获取符合精度需求的气脚位置；A3、确定气脚刚度：根据工作台的具体形态建立有限元模型，进行气脚的模态分析以获取气脚刚度；A4、确定气脚预载：对有限元模型进行静力学分析，获取气脚支撑处等效弹簧的总反力。本发明能够确保工作台达到设计要求的稳定性和机械性能；节约大量测量和样品试验所消耗的资源和时间；可以在概念和设计阶段，而未投入实际生产之前达到目的；实施要求低，便捷快速；能准确输出气脚的具体参数结论。