一种保持入射角不变的光栅衍射效率测试仪

摘要

一种保持入射角不变的光栅衍射效率测试仪包括外光源系统、前置分光单色仪、测量单色仪、测量控制系统。前置单色仪的壳体外带有两个狭缝，分别为入射狭缝和出射狭缝，壳体内部是光栅色散分光系统。衍射效率测量单色仪是通过加入一块可旋转平面反射镜控制光栅衍射光束传播方向，调节因波长不同带来的衍射方向不同，使之始终保持一个方向入射到会聚物镜上，最终成像在固定位置的探测器上，完成测量。测量过程中待测光栅不需要转动，实现了测试条件的一致：测量不同波长的衍射效率时入射角保持不变。同时的测量系统旋转平面反射镜采用计算机自动控制，测试过程自动化程度高，测试结果可信。