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含有聚合物腐蚀抑制剂的非水的、无腐蚀性的微电子清洁组合物

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摘要

非水清洁组合物提供了本发明的光致抗蚀剂剥离剂和清洁组合物，其基本上对铜以及铝无腐蚀性，且其包含至少一种极性有机溶剂、至少一种羟基化的有机胺、和至少一种在聚合物主链上有多个羟基-或氨基-官能团侧基的腐蚀抑制剂聚合物。

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2014-04-02

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/42 授权公告日:20101222 终止日期:20130201 申请日:20050201

专利权的终止
2011-02-23

专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/42 变更前: 变更后: 申请日:20050201

专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2010-12-22

授权

授权
2008-01-16

实质审查的生效

实质审查的生效
2007-11-21

公开

公开

1. 含有聚合物腐蚀抑制剂的非水的、无腐蚀性的微电子清洁组合物 [P] . 中国专利： CN101076760B . 2010.12.22
2. 非水的、非腐蚀性的微电子清洁组合物 [P] . 中国专利： CN1784487B . 2012.10.03
3. Non-Aqueous, Non-Corrosive Microelectronic Cleaning Compositions Containing Polymeric Corrosion Inhibitors [P] . 韩国专利： KR100744223B1 . 2007-07-30

机译：含有聚合物腐蚀抑制剂的非水，非腐蚀性微电子清洁组合物
4. NON-AQUEOUS, NON-CORROSIVE MICROELECTRONIC CLEANING COMPOSITIONS CONTAINING POLYMERIC CORROSION INHIBITORS [P] . IL183699A . 2012-10-31

机译：包含聚合物腐蚀抑制剂的非水，非腐蚀性微电子清洁组合物
5. NON-AQUEOUS, NON-CORROSIVE MICROELECTRONIC CLEANING COMPOSITIONS CONTAINING POLYMERIC CORROSION INHIBITORS [P] . IL183699B . 2012-10-31

机译：包含聚合物腐蚀抑制剂的非水，非腐蚀性微电子清洁组合物