公开/公告号CN101626644B
专利类型发明专利
公开/公告日2010-12-29
原文格式PDF
申请/专利权人 台达电子工业股份有限公司;
申请/专利号CN200810131552.0
发明设计人 黄俊杰;
申请日2008-07-11
分类号
代理机构上海专利商标事务所有限公司;
代理人任永武
地址 中国台湾桃园县中坜工业区东园路3号
入库时间 2022-08-23 09:05:58
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-12-29
授权
授权
2010-03-10
实质审查的生效
实质审查的生效
2010-01-13
公开
公开
机译: 用于图案曝光的设备和方法,用于其的光掩模,用于光掩模的设计方法,其照明系统以及用于照明系统的实现方法
机译: 将数据合并到照明系统亮度输出中的照明系统,配置用于照明系统照明方法的光接收器
机译: 检测系统以确定场景中的选定位置是否存在照明系统的第一光源的光贡献,用于确定照明系统照明的第一光源的光贡献是否存在于选定位置的方法在场景和计算机程序中