一种悬臂梁结构的谐振式集成光波导加速度计

摘要

一种悬臂梁结构的谐振式集成光波导加速度计，由输入波导、不对称结构的马赫—曾德尔干涉器、微机械振动悬臂梁、弯曲波导、输出波导构成，其特征在于所有光波导结构和悬臂梁结构均利用集成光学微细加工技术，采用温度不敏感的有机聚合物光波导结构和有机聚合物衬底制备，可实现器件的单片集成，其检测灵敏度、动态范围等关键技术指标可实现大范围的调整。通过检测光学回路的谐振频率光强变化，测量加速度引起的光信号相位差，实现高灵敏度的加速度检测，并且具有不受环境温度扰动、不受波导双折射影响的优点。器件体积小、质量轻、稳定性高，制备工艺简单，并可实现批量生产，显著降低器件成本。