多孔二氧化硅预制件的制造方法和多孔二氧化硅预制件

摘要

一种制造多孔二氧化硅预制件的方法，包括以下步骤：向玻璃合成燃烧器供应燃料气来生成氧氢焰；向燃烧器供应含硅的气体A和含氟的气体B；合成玻璃粒子；以及围绕芯棒沉积玻璃粒子，其中当玻璃粒子直接沉积到芯棒时，调节供应到燃烧器的气体A和气体B的供应量以使供应到燃烧器的气体中的氟原子数与硅原子数的比例满足下述公式(1)：{(氟原子数)/(硅原子数)}≤0.1…(1)。