公开/公告号CN101137935B
专利类型发明专利
公开/公告日2010-12-22
原文格式PDF
申请/专利权人 东京应化工业株式会社;
申请/专利号CN200580048980.1
申请日2005-11-29
分类号G03F7/00(20060101);G03F7/004(20060101);G03F7/11(20060101);
代理机构11256 北京市金杜律师事务所;
代理人杨宏军
地址 日本神奈川县
入库时间 2022-08-23 09:05:51
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-01-14
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/00 授权公告日:20101222 终止日期:20131129 申请日:20051129
专利权的终止
2011-06-22
专利权的转移 IPC(主分类):G03F 7/00 变更前: 变更后: 登记生效日:20110513 申请日:20051129
专利申请权、专利权的转移
2010-12-22
授权
授权
2008-04-30
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-03-05
公开
公开
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