一种防止研磨机台上研磨料聚合的喷水装置及其使用方法

摘要

本发明提供了一种防止研磨机台上研磨料聚合的喷水装置及其使用方法。可有效解决研磨机台上的机械头上研磨料的聚合引起研磨晶圆的缺陷问题。所述喷水装置包括两个喷水部件，所述两个喷水部件都包括进水孔，数个喷水孔，底座，支架，以及卡孔和水管；所述数个喷水孔位于支架上，所述卡孔位于底座底部，所述支架一端固定在底座上，另一端固定在研磨机台上，所述水管具有三端，其中两端分别连接两喷水部分的进水孔，另一端连接研磨机台的保湿装置接口。利用喷水装置对晶圆装卸区机械头的两侧边和底边进行清洗和保湿。采用本发明可去除留在机械头侧边及底边研磨料的聚合物，同时保持机械头的湿润防止重新溅射到研磨台机械头上的研磨料的聚合。