精密装置基础微振动控制分阶段设计方法

摘要

本发明提出一种精密装置基础微振动控制分阶段设计方法，应用于软土地基上的精密装置，其包括下列步骤：第一阶段：天然场地条件振动测试与分析；第二阶段：精密装置基础设计与分析；第三阶段：周边环境振动控制的分析研究；第四阶段：减振隔振措施分析研究。本发明提出的精密装置基础微振动控制分阶段设计方法，从而最大限度满足精密装置基础微振动控制要求。