法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-05-25
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 25/16 授权公告日:20101208 终止日期:20150407 申请日:20090407
专利权的终止
2010-12-08
授权
授权
2009-10-28
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-09-02
公开
公开
机译: 检测扫描探针显微镜的压电体的位移幅值的装置
机译: 步进扫描模式下的扫描探针显微镜和增加扫描探针显微镜扫描速度的方法
机译: 在扫描探针显微镜和步进扫描模式中提高扫描探针显微镜的扫描速度的方法