具有清洗机构的涂覆装置、涂覆装置的清洗方法以及用于涂覆装置的清洗机构

摘要

本发明的涂覆装置(1)具有：使涂布液得以流动的配管(12～14)；设置在所述配管(12～14)上的模头(9)；以及清洗机构(3)，其具有多个储存种类互不相同的溶剂的溶剂罐(22a～22d)。其中，清洗机构(3)按照从与所述涂布液具有高相溶性的溶剂到清洗性比该溶剂更高的溶剂的顺序，切换储存在所述溶剂罐(22a～22d)中的溶剂而向所述配管(12～14)进行供给，从而使所述配管(12～14)的内部和所述模头(9)的内部(9a、9b)得以清洗。