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用于表面增强红外光谱中硅上化学镀钯的方法

摘要

本发明属于表面增强红外光谱技术领域,具体为一种用于表面增强红外光谱中硅上化学镀钯的方法。该方法是在含Pd盐的氢氟酸溶液中,在硅表面生长Pd晶种作为催化剂,进而在Pd化学镀镀液中制备Pd膜电极。本发明方法简单易行,Pd膜电极可以较长时间稳定使用,与硅基底的粘附力强。

著录项

  • 公开/公告号CN101240416B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2010-11-17

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 复旦大学;

    申请/专利号CN200810034322.2

  • 发明设计人 蔡文斌;薛晓康;彭斌;王金意;

    申请日2008-03-06

  • 分类号

  • 代理机构上海正旦专利代理有限公司;

  • 代理人陆飞

  • 地址 200433 上海市邯郸路220号

  • 入库时间 2022-08-23 09:05:46

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-04-30

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/14 授权公告日:20101117 终止日期:20130306 申请日:20080306

    专利权的终止

  • 2010-11-17

    授权

    授权

  • 2009-12-30

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2008-08-13

    公开

    公开

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