尺寸可控的纳米级银颗粒镶嵌在钛酸钡薄膜中的制备方法

摘要

本发明公开了一种尺寸可控的纳米级银颗粒镶嵌在钛酸钡薄膜中的制备方法：先制备复合靶，再处理基底，及进行溅射，最后是热处理。本发明通过调整银片在复合靶中所占面积，实现对纳米级银颗粒尺寸的控制。本发明制备的复合膜中银颗粒大小一致，均在纳米量级，平均粒径为8～70纳米。用本发明方法制备的产品，能与半导体硅片兼容。所以，不仅可用于微电子器件集成电路中，还可用于非线性光学器件及量子器件中。